Obrázek 51-4. Princip elektronové mikroanalýzy se opírá o princip elektronového mikroskopu. Z vhodného vlákna (W, LaB6) jsou emitovány elektrony (1), které jsou urychleny Wheneltovým válcem (2) a foksovány elektromagnetickou soustavou (3). Při dopadu na vzorek (4) dochází k interakcím, které umožňují vhodnými detektory (9) sekundárních a zpětně odražených elektronů sestavit elektronový obraz. K analýze složení slouží analyzující krystal (5) a detektor (6) a výsledná data jsou patřičně zesílena a vyhodnocena (7). Podle Borovce (1985).