Obrázek 52-3. Princip vzniku RTG záření. Dopadající foton s dostatečnou energií vypudí z vnitřní slupky elektron, který opouští atomový obal jako fotoelektron s definovanou energií. Na vakantní pozici okamžitě přeskočí elektron z vyšší energetické hladiny a rozdíl v energiích se vyzáří jako rentgenové záření. Energie tohoto záření může uvolnit elektron z valenční vrstvy - tzv. Augerův elektron (obrázek vpravo dole). Podle Jenkins, Snyder (1996).